لایه نشانی نیترید آلومینیوم روی زیرلایه استیل ۳۰۴ به وسیله دستگاه پلاسمای کانونی (PF)…
فهرست مطالب
عنوان
صفحه
چکیده۱
فصل اول
معرفی دستگاه پلاسمای کانونی
مقدمه۳
پلاسما ۴
پینچ ۵
پلاسمای کانونی۵
معرفی عمومی پلاسمای کانونی۷
مشخصات کلی پلاسمای کانونی شده۸
چهار بخش اساسی در دستگاه پلاسمای کانونی۹
دستگاه پلاسمای کانونی نوع مدر و فیلیپوف۱۰
برخی کاربردهای دستگاه پلاسمای کانونی۱۱
دینامیک دستگاه پلاسمای کانونی۱۲
عملکرد پلاسمای کانونی۱۴
فاز شکست۱۵
فاز رانش محوری۱۶
فاز شعاعی۱۷
۱- فاز تراکم۱۸
۲- فاز ساکن۲۱
۳- فاز…